- 专利标题： 用于涂覆以最密堆积设置在基座上的多个基板的装置
- 专利标题（英）： Device for coating a plurality of closest-packed substrates arranged on a susceptor
-
申请号： CN200880017035.9申请日： 2008-05-21
-
公开(公告)号： CN101681871B公开(公告)日： 2013-07-24
- 发明人: 亚当·博伊德 , 维克托·塞韦尔 , 简·马尔德 , 奥利维尔·费龙 , 约翰尼斯·卡普勒
- 申请人： 艾克斯特朗股份公司
- 申请人地址： 德国黑措根拉特
- 专利权人： 艾克斯特朗股份公司
- 当前专利权人： 艾克斯特朗股份公司
- 当前专利权人地址： 德国黑措根拉特
- 代理机构： 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 彭久云
- 优先权： 102007023970.1 2007.05.23 DE
- 国际申请： PCT/EP2008/056268 2008.05.21
- 国际公布： WO2008/142115 DE 2008.11.27
- 进入国家日期： 2009-11-23
- 主分类号： H01L21/687
- IPC分类号： H01L21/687 ; C30B25/12 ; C23C16/458
摘要：
本发明涉及用于涂覆多个基板(3)的装置，基板(3)规则地设置在配属于一处理室的基座(1)的承载表面(2)上，其中承载表面(2)形成用于每个基板(3)的边缘安装的邻接侧面(5)。为了减少自由基座表面到最小，提出了侧壁的邻接侧面(5)由基底(4)形成，基底(4)从承载表面(2)突出，并且以一距离彼此间隔。所述基底设置在蜂巢结构的拐角点(10)上，并且其轮廓基本上对应于等边三角形，但具有向内弯曲的边(5)。
公开/授权文献
- CN101681871A 用于涂覆以最密堆积设置在基座上的多个基板的装置 公开/授权日：2010-03-24
IPC分类:
