本发明涉及在制造由玻璃、金属或塑料制成的薄膜太阳能电池或模块过程中用诸如硫化镉或硫化锌的金属化合物涂覆衬底的方法以及设备，使用位于处理池(3)中的液体(F)，并且其化学成分能够通过适当的温度控制而沉积至衬底表面并形成永久膜，其中通过适当的加热装置(11)加热待涂覆的衬底的下表面，这是形成期望膜所必需的，所述加热装置在用加热液体处理期间不润湿不需处理的上表面的情况下和在不从上方支持或保护衬底(2)的情况下，能够将该衬底(2)加热至所需温度。