本发明提供一种精密电路保洁剂，包含以下质量百分比的组成成分：聚乙二醇辛基苯醚1～20％，壬基酚聚氧乙烯醚1～20％，C5H2F10 30～40％，C3HCl2F5 5～10％，硅油1～3％，C2Cl3H3 10～20％。本发明还提供该精密电路保洁剂的制备方法，包括以下步骤：将上述各组分按比例装入密闭容器，在温度为20～30℃，常压下反应1小时。本保洁剂无环境污染，腐蚀性低，物理分解能力强，使用安全可靠，可迅速、彻底清除各种精密设备电路表面及深层的尘土、油污、碳渍、盐分、潮气、金属尘埃及各种带电粒子，有效消除“软性故障”，保证设备的最佳工作状态，降低维护成本。