发明授权
- 专利标题： 估计待测器件的扫描链中的固定型缺陷的位置
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申请号： CN200880006537.1申请日： 2008-02-28
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公开(公告)号： CN101627370B8公开(公告)日： 2013-05-01
- 发明人: 菲利普·D·布里森 , 约翰·K·费迪尼
- 申请人： 爱德万测试(新加坡)私人有限公司
- 申请人地址： 新加坡新加坡市
- 专利权人： 爱德万测试(新加坡)私人有限公司
- 当前专利权人： 爱德万测试公司
- 当前专利权人地址： 新加坡新加坡市
- 代理机构： 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司
- 代理商 宋鹤; 南霆
- 优先权： 11/680,134 2007.02.28 US
- 国际申请： PCT/US2008/002765 2008.02.28
- 进入国家日期： 2009-08-28
- 主分类号： G06F11/00
- IPC分类号： G06F11/00
摘要：
在扫描图像被从扫描链移出时，针对逻辑条件的存在性来实时地评估该扫描图样。维持到扫描图样的当前正被评估的一部分的参考。当在该参考与存储值具有预定关系时识别出存在所述逻辑条件之后，使用参考来覆写存储值。然后，使用存储值来估计扫描链中的固定型缺陷的位置。
公开/授权文献
- CN101627370B 估计待测器件的扫描链中的固定型缺陷的位置 公开/授权日：2013-03-13
