• 专利标题: 准一维纳米材料场效应管电容电导同时检测生物传感器
  • 专利标题(英): Simultaneous detection biological sensor by utilizing capacitance and conduction of quasi-one-dimensional nanometer material field effective tube
  • 申请号: CN200910136064.3
    申请日: 2009-04-27
  • 公开(公告)号: CN101625358B
    公开(公告)日: 2013-05-01
  • 发明人: 邹小平程进
  • 申请人: 北京信息科技大学
  • 申请人地址: 北京市海淀区清河小营东路12号
  • 专利权人: 北京信息科技大学
  • 当前专利权人: 北京信息科技大学
  • 当前专利权人地址: 北京市海淀区清河小营东路12号
  • 主分类号: G01N33/569
  • IPC分类号: G01N33/569 G01N27/414 G01N27/04 G01N27/22
准一维纳米材料场效应管电容电导同时检测生物传感器
摘要:
本发明属于微机械系统和生物纳米传感技术领域的一种基于准一维纳米材料场效应管电容电导敏感特性的准一维纳米材料场效应管电容电导同时检测生物传感器。主要由上硅片上的绝缘层及其上的金属电极、准一维纳米材料、凹形槽及槽底生物修饰层;下硅片上的金属栅极;以及金属栅极与凹形槽形成的微流通道构成。利用准一维纳米材料场效应管,并进行生物修饰,利用抗原抗体反应来影响栅极电场,从而改变准一维纳米材料沟道电导及场效应管电容,实现高灵敏度、快速、准确的生物分子或病毒检测技术;利用MEMS技术和背面硅基片生物修饰技术相结合,加工简单,适合大批量生产,易于集成化,而且易于推广应用。
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