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发明授权
CN101622703B 基板支持框架及基板处理设备和以此设备装卸基板的方法 有权

  • 专利标题： 基板支持框架及基板处理设备和以此设备装卸基板的方法
  • 专利标题（英）： Substrate support frame, and substrate processing apparatus and method of loading and unloading substrate using the same
  • 申请号： CN200880006621.3
    申请日： 2008-02-27
  • 公开(公告)号： CN101622703B
    公开(公告)日： 2011-04-20
  • 发明人: 李龙炫
  • 申请人： 周星工程股份有限公司
  • 申请人地址： 韩国京畿道
  • 专利权人： 周星工程股份有限公司
  • 当前专利权人： 周星工程股份有限公司
  • 当前专利权人地址： 韩国京畿道
  • 代理机构： 永新专利商标代理有限公司
  • 代理商 刘佳斐; 蔡胜利
  • 优先权： 10-2007-0020558 2007.02.28 KR
  • 国际申请： PCT/KR2008/001152 2008.02.27
  • 国际公布： WO2008/105637 EN 2008.09.04
  • 进入国家日期： 2009-08-28
  • 主分类号： H01L21/683
  • IPC分类号： H01L21/683
基板支持框架及基板处理设备和以此设备装卸基板的方法
摘要：
一种基板支持框架，用以在腔室中装载基板至基座上或由基座卸载基板，其中基板支持框架设置于基座上方，该基板支持框架包含支持基板的边界部的本体；第一开口，穿透本体的中心部，且露出基座的中心部；以及对应至本体的一侧的第二开口，其中基板透过第二开口设置于本体上，以与基座的中心部重叠。
摘要（英）：

A substrate support frame for loading or unloading a substrate on or from a susceptor in a chamber, wherein the substrate support frame is disposed over the susceptor, comprises a body supporting a boundary portion of the substrate; a first opening through a center portion of the body and exposing a center portion of the susceptor; and a second opening corresponding to one side of the body, wherein the substrate is disposed on the body through the second opening to overlap the center portion of the susceptor.

公开/授权文献
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