发明授权
CN101607479B 液体喷出头及其制造方法以及结构体的形成方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 液体喷出头及其制造方法以及结构体的形成方法
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申请号: CN200910147277.6申请日: 2009-06-19
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公开(公告)号: CN101607479B公开(公告)日: 2011-12-28
- 发明人: 堀内勇
- 申请人: 佳能株式会社
- 申请人地址: 日本东京都大田区下丸子3丁目30-2
- 专利权人: 佳能株式会社
- 当前专利权人: 佳能株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都大田区下丸子3丁目30-2
- 代理机构: 北京林达刘知识产权代理事务所
- 代理商 刘新宇
- 优先权: 2008-160773 2008.06.19 JP
- 主分类号: B41J2/16
- IPC分类号: B41J2/16 ; B41J2/14 ; H01L21/02
摘要:
本发明涉及液体喷出头及其制造方法以及结构体的形成方法。一种液体喷出头的制造方法,该液体喷出头包括基板和设置在基板上方的构件,该构件具有连通地连接到喷射液体用的排出口的通道;所述制造方法包括:在基板上方设置由正性感光性树脂制成的第一固体层,使得第一固体层的外侧面与基板形成钝角;在基板上方设置第二固体层,使得第二固体层与第一固体层的外侧面抵接,第二固体层被处理成所述通道用的型模的至少一部分;经由第二固体层对第一固体层的部分外侧面进行曝光;从第一固体层去除曝光过的部分;在第二固体层上设置覆盖层,该覆盖层被处理成所述构件。
公开/授权文献
- CN101607479A 液体喷出头及其制造方法以及结构体的形成方法 公开/授权日:2009-12-23
IPC分类: