液体喷出头及其制造方法以及结构体的形成方法
摘要:
本发明涉及液体喷出头及其制造方法以及结构体的形成方法。一种液体喷出头的制造方法,该液体喷出头包括基板和设置在基板上方的构件,该构件具有连通地连接到喷射液体用的排出口的通道;所述制造方法包括:在基板上方设置由正性感光性树脂制成的第一固体层,使得第一固体层的外侧面与基板形成钝角;在基板上方设置第二固体层,使得第二固体层与第一固体层的外侧面抵接,第二固体层被处理成所述通道用的型模的至少一部分;经由第二固体层对第一固体层的部分外侧面进行曝光;从第一固体层去除曝光过的部分;在第二固体层上设置覆盖层,该覆盖层被处理成所述构件。
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