发明授权
CN101597749B 自动镀膜装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 自动镀膜装置
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申请号: CN200810301941.3申请日: 2008-06-03
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公开(公告)号: CN101597749B公开(公告)日: 2011-12-21
- 发明人: 吴佳颖
- 申请人: 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 , 鸿海精密工业股份有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号
- 专利权人: 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司,鸿海精密工业股份有限公司
- 当前专利权人: 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司,鸿海精密工业股份有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号
- 主分类号: C23C14/26
- IPC分类号: C23C14/26
摘要:
一种自动镀膜装置,其包括:一机体、一支撑架、一基板、一旋转装置及一翻面装置;所述旋转装置包括一第一驱动装置及一与其相连接的第一传动轴;所述翻面装置包括一第二驱动装置及一与其相连接的第二传动轴;所述第一驱动装置与所述第二驱动装置相邻的固定于机体的顶端,且所述第一传动轴与第二传动轴相互平行;所述支撑架的一端可转动的连接在所述机体上,所述基板可转动的连接在所述支撑架上;所述第一驱动装置驱动第一传动轴带动支撑架在水平方向上旋转,所述第二驱动装置驱动第二传动轴带动基板在竖直方向上转动。本发明自动镀膜装置可使位于基板上的待镀膜基片一表面镀膜完成后,无需降温、破真空,自动翻面后对另一面进行镀膜。
公开/授权文献
- CN101597749A 自动镀膜装置 公开/授权日:2009-12-09
IPC分类: