发明公开
CN101580931A 将金刚石层施涂在石墨基体上的方法
无效 - 撤回
- 专利标题: 将金刚石层施涂在石墨基体上的方法
- 专利标题(英): Method of applying a diamond layer to a graphite substrate
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申请号: CN200810107458.1申请日: 2008-12-22
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公开(公告)号: CN101580931A公开(公告)日: 2009-11-18
- 发明人: M·弗里达 , T·马特 , S·马尔卡希
- 申请人: 康迪亚斯有限责任公司
- 申请人地址: 德国伊特瑟霍
- 专利权人: 康迪亚斯有限责任公司
- 当前专利权人: 康迪亚斯有限责任公司
- 当前专利权人地址: 德国伊特瑟霍
- 代理机构: 永新专利商标代理有限公司
- 代理商 过晓东
- 优先权: 07024950.3 2007.12.21 EP
- 主分类号: C23C16/27
- IPC分类号: C23C16/27 ; C23C16/44 ; C04B41/50
摘要:
在CVD法中将金刚石层稳定地施涂在石墨基体上,条件是在CVD法之前对石墨基体实施下列预处理步骤:在高于500℃,优选高于800℃的温度下于真空中在蚀刻气体气氛中精细净化表面;机械去除松散的颗粒;用极细的金刚石颗粒给基体表面施加晶种;在T>500℃,优选T>700℃的温度下于真空中进行至少一次脱气处理以去除吸附的烃类和吸附的空气。
IPC分类: