Invention Grant
CN101563591B 包括参考传感器元件的传感器
失效 - 权利终止
- Patent Title: 包括参考传感器元件的传感器
- Patent Title (English): A sensor including a reference sensor element
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Application No.: CN200780046906.5Application Date: 2007-10-17
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Publication No.: CN101563591BPublication Date: 2013-09-04
- Inventor: 埃莱·海因斯 , 威廉·莱恩 , 爱德华·约翰·科因
- Applicant: 美国亚德诺半导体公司
- Applicant Address: 美国马萨诸塞州
- Assignee: 美国亚德诺半导体公司
- Current Assignee: 美国亚德诺半导体公司
- Current Assignee Address: 美国马萨诸塞州
- Agency: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- Agent 金晓
- Priority: 11/584,725 2006.10.20 US
- International Application: PCT/EP2007/061093 2007.10.17
- International Announcement: WO2008/046861 EN 2008.04.24
- Date entered country: 2009-06-18
- Main IPC: G01J5/06
- IPC: G01J5/06 ; G01J5/08 ; G01J5/10 ; G01J5/24
Abstract:
本发明提供了一种电磁辐射传感器，具有形成在第一衬底中的第一和第二传感器元件和形成在第二衬底中的第一和第二盖，第一和第二衬底彼此相对布置以使得第一和第二传感器元件的每个具有提供于其上方的相应的盖，从而提供独立的第一和第二单元，各单元分开形成，各单元的加盖用于限定各传感器上方的受控体积，其中第一单元提供基于第一响应特征的输出，和第二单元提供基于第二响应特征的输出。
Public/Granted literature
- CN101563591A 包括参考传感器元件的传感器 Public/Granted day:2009-10-21
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