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工件表面的精密研磨加工
摘要:
动态地控制研磨型表面抛光刀具与正在被抛光的工件的表面之间的间距,从而补偿研磨垫与工件的表面接触的面积的变化,由此消除该接触区域的尺寸变化和伴随的产生表面高度波动的材料去除的变化。
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