发明授权
CN101530997B 双拾放臂粘晶机构
失效 - 权利终止
- 专利标题: 双拾放臂粘晶机构
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申请号: CN200910011136.1申请日: 2009-04-09
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公开(公告)号: CN101530997B公开(公告)日: 2011-12-21
- 发明人: 王云峰
- 申请人: 大连佳峰电子有限公司
- 申请人地址: 辽宁省大连市高新园区广贤路97号
- 专利权人: 大连佳峰电子有限公司
- 当前专利权人: 大连佳峰电子有限公司
- 当前专利权人地址: 辽宁省大连市高新园区广贤路97号
- 代理机构: 大连科技专利代理有限责任公司
- 代理商 秦少林
- 主分类号: B25J1/00
- IPC分类号: B25J1/00
摘要:
本发明涉及半导体制造的粘晶机构。一种双拾放臂粘晶机构,包括力矩电机和由力矩电机驱动的旋转盘,还包括左侧拾放臂、右侧拾放臂、两根同心轴、和两个凸轮,左侧拾放臂和右侧拾放臂均沿径向安装在旋转盘上,且可沿径向往复运动,左侧拾放臂与右侧拾放臂沿径向的夹角为90度,两根同心轴穿过中空的力矩电机的中央(心轴),每根轴的轴端均安装一个凸轮,安装在内轴上的凸轮压靠在左侧拾放臂上(的端部),凸轮转动可使左侧拾放臂沿径向往复运动,安装在外轴上的凸轮压靠在右侧拾放臂上(的端部),凸轮转动可使右侧拾放臂沿径向往复运动。本发明结构简单,生产成本低。
公开/授权文献
- CN101530997A 双拾放臂粘晶机构 公开/授权日:2009-09-16
IPC分类: