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双拾放臂粘晶机构
摘要:
本发明涉及半导体制造的粘晶机构。一种双拾放臂粘晶机构,包括力矩电机和由力矩电机驱动的旋转盘,还包括左侧拾放臂、右侧拾放臂、两根同心轴、和两个凸轮,左侧拾放臂和右侧拾放臂均沿径向安装在旋转盘上,且可沿径向往复运动,左侧拾放臂与右侧拾放臂沿径向的夹角为90度,两根同心轴穿过中空的力矩电机的中央(心轴),每根轴的轴端均安装一个凸轮,安装在内轴上的凸轮压靠在左侧拾放臂上(的端部),凸轮转动可使左侧拾放臂沿径向往复运动,安装在外轴上的凸轮压靠在右侧拾放臂上(的端部),凸轮转动可使右侧拾放臂沿径向往复运动。本发明结构简单,生产成本低。
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