本发明涉及流体输送领域，具体为超高纯介质输送集成装置。本发明由换热器、冷却水循环装置、注射用水循环装置组成，在设备中还加入纯蒸汽接入管、第一温度传感器、第二温度传感器和控制面板，冷却水进水管通过第一阀门连接至换热器的冷媒进口，冷却水出水管通过第二阀门连接至换热器的冷媒出口；注射用水进水管通过第三阀门连接至换热器的注射用水进水口，注射用水进水管外通过第四阀门连接有纯蒸气接入管，注射用水出水管连接至第五阀门；使用点通过第五阀门连接至换热器的注射用水出水口；冷却水进水管和注射用水使用点前分别通过第一温度传感器和第二温度传感器连接至控制面板。本发明具有纯度高、使用方便、操作容易的优点。