利用吸收光谱法检测气体的装置
摘要:
本发明公开了一种测量样本气体中预选气体的浓度的装置。该装置包括具有中心轴(74)和壳体(80A、80B)的赫里奥特型多程室(10),壳体环绕轴并与轴间隔开以提供管状的样本腔(84)。通过轴两端的孔(154、156)泵送样本气体穿过样本腔。第一反射镜(44)与第二反射镜(46)支撑在轴的两端。提供光源(如激光或LED)用于发射光束,光束经过第一反射镜中的入口孔(30)射入到样本腔中,光束波长为预选气体的强吸收波长。光束在经过第二反射镜中的出口孔(48)射出多光径室并与检测器(52)碰撞之前,在反射镜之间反射若干次。
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