发明授权
CN101422867B 智能调整器冲洗站
失效 - 权利终止
- 专利标题： 智能调整器冲洗站
- 专利标题（英）： Smart conditioner rinse station
-
申请号： CN200810166049.9申请日： 2006-01-10
-
公开(公告)号： CN101422867B公开(公告)日： 2013-03-06
- 发明人: A·耶尔马兹 , L·卡鲁皮亚
- 申请人： 应用材料公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 上海专利商标事务所有限公司
- 代理商 陆嘉
- 优先权： 60/684,690 2005.05.26 US; 11/273,766 2005.11.14 US
- 分案原申请号： 2006800094394 2006.01.10
- 主分类号： B24B7/20
- IPC分类号： B24B7/20
摘要：
本发明提供一种用于监控研磨衬垫调整机构的方法及设备。在一个实施例中，半导体基材研磨系统包括冲洗站、研磨表面、调整件以及调整机构。所述调整机构可选择性将调整件定位于研磨表面及冲洗站上方。并提供至少一个传感器且将所述传感器配置成在位于冲洗站上方时检测所述调整件的第一位置及第二位置。
公开/授权文献
- CN101422867A 智能调整器润湿站 公开/授权日：2009-05-06
