半导体器件中的叠层电容器及其制造方法
摘要:
一种半导体器件中的叠层电容器包括形成于半导体衬底上和/或上方的第一电容器以及形成于第一电容器上和/或上方的第二电容器。第一电容器和第二电容器每个都具有多层层压结构,该层压结构包括下部电极、电容器介电层和上部电极。下部电极和上部电极中的至少两个相互垂直地排列以具有相同的宽度和/或表面区域。
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