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基片支承装置
摘要:
一种基片支承装置用于在溶液旋转沉积的过程中保护基片上的微结构,所述基片支承装置包括:可旋转的底板,其具有顶表面;支座,其连接着底板,用于接收基片以形成接触界面,其中接触界面将微结构与底板分开;限位件,其连接着底板,用于将基片紧固在底板上。
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