发明授权
CN101412494B 基片支承装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 基片支承装置
- 专利标题(英): Substrate support device
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申请号: CN200810170449.7申请日: 2004-07-13
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公开(公告)号: CN101412494B公开(公告)日: 2011-02-16
- 发明人: 姚奎 , 何旭江 , 张健 , 桑迪拉让-山内格拉斐
- 申请人: 新加坡科技研究局
- 申请人地址: 新加坡新加坡城
- 专利权人: 新加坡科技研究局
- 当前专利权人: 新加坡科技研究局
- 当前专利权人地址: 新加坡新加坡城
- 代理机构: 永新专利商标代理有限公司
- 代理商 蔡胜利
- 优先权: 10/619,923 2003.07.15 US
- 分案原申请号: 2004100638682 2004.07.13
- 主分类号: B81C1/00
- IPC分类号: B81C1/00 ; B81B3/00
摘要:
一种基片支承装置用于在溶液旋转沉积的过程中保护基片上的微结构,所述基片支承装置包括:可旋转的底板,其具有顶表面;支座,其连接着底板,用于接收基片以形成接触界面,其中接触界面将微结构与底板分开;限位件,其连接着底板,用于将基片紧固在底板上。
公开/授权文献
- CN101412494A 基片支承装置 公开/授权日:2009-04-22