本发明的目的在于供给一种如下的等离子体发生装置和使用它的等离子体产生方法：等离子体点火前后的空腔内的阻抗变化较少，并且很难影响空腔的形状，改善了等离子体的着火性。该等离子体发生装置具有导入等离子体产生用的气体(9)，并将该气体(9)排出到大气中的非导电性的气体流道管(1)、和围绕该气体流道管的导电性天线管(2)，对该天线管照射微波(7)，使该气体流道管中的气体等离子化，其特征在于，在该天线管(2)中沿着气体流道管的管轴线方向形成有规定长度的狭缝(3)。优选的是，其特征在于，该狭缝的长度设定为所照射的微波的半波长的整数倍。