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发明授权
CN101363113B 蒸发源及其制造方法和有机电致发光显示装置的制造方法 失效 - 权利终止

  • 专利标题： 蒸发源及其制造方法和有机电致发光显示装置的制造方法
  • 专利标题（英）： Evaporation source, manufacturing method of the same and manufacturing method of an organic el display device
  • 申请号： CN200810210270.X
    申请日： 2008-08-11
  • 公开(公告)号： CN101363113B
    公开(公告)日： 2012-10-24
  • 发明人: 肥后智之
  • 申请人： 索尼株式会社
  • 申请人地址： 日本东京都
  • 专利权人： 索尼株式会社
  • 当前专利权人： 索尼株式会社
  • 当前专利权人地址： 日本东京都
  • 代理机构： 北京市柳沈律师事务所
  • 代理商 彭久云
  • 优先权： 207417/07 2007.08.09 JP
  • 主分类号： C23C14/26
  • IPC分类号： C23C14/26 ;  C23C14/12 ;  H05B33/10
蒸发源及其制造方法和有机电致发光显示装置的制造方法
摘要：
本发明涉及蒸发源及其制造方法以及有机电致发光显示装置的制造方法，该蒸发源包括：绝缘基板；第一电极图案，以条形方式形成在基板上；第二电极图案，以条形方式形成在基板上，以与第一电极图案交叉，并且与第一电极图案电绝缘；以及电阻层，设置在第一电极图案和第二电极图案之间的交叉部分，并且夹设在该交叉部分的第一电极图案和第二电极图案之间。
摘要（英）：

The invention relates to an evaporation source, manufacturing method of the same and manufacturing method of an organic EL display device. The evaporation source has an insulating glass substrate and the electrode patterns formed in a striped manner on the substrate. The electrode patterns formed in a striped manner on the substrate intersects with the electrode patterns in an electrically insulated manner. The resistance heating layers arranged at each intersecting portions between the patterns are sandwiched between the electrode patterns at the intersecting portion.

公开/授权文献
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