抛光方法、基板制造方法及电子装置的制造方法
摘要:
本发明公开了一种抛光方法、基板制造方法及电子装置的制造方法,该抛光方法用于对工件的两个表面同时进行抛光,包括以下步骤:将工件插入到载体的孔中,并利用固定构件固定该工件;将该载体连接到抛光装置;同时抛光该工件的两个表面;以及在抛光步骤之后,将该载体从该抛光装置上拆卸,并将载体连接到紧接的清洗装置上。
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