发明公开
- 专利标题: 抛光方法、基板制造方法及电子装置的制造方法
- 专利标题(英): Polishing apparatus, substrate manufacturing method, and electronic apparatus manufacturing method
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申请号: CN200810099888.3申请日: 2008-05-30
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公开(公告)号: CN101362311A公开(公告)日: 2009-02-11
- 发明人: 十仓史彦 , 竹内光生
- 申请人: 富士通株式会社
- 申请人地址: 日本神奈川县川崎市
- 专利权人: 富士通株式会社
- 当前专利权人: 富士通株式会社
- 当前专利权人地址: 日本神奈川县川崎市
- 代理机构: 隆天国际知识产权代理有限公司
- 代理商 冯志云
- 优先权: 2007-208395 2007.08.09 JP
- 主分类号: B24B29/00
- IPC分类号: B24B29/00 ; H01L21/00 ; H01L21/304 ; H01L21/3105
摘要:
本发明公开了一种抛光方法、基板制造方法及电子装置的制造方法,该抛光方法用于对工件的两个表面同时进行抛光,包括以下步骤:将工件插入到载体的孔中,并利用固定构件固定该工件;将该载体连接到抛光装置;同时抛光该工件的两个表面;以及在抛光步骤之后,将该载体从该抛光装置上拆卸,并将载体连接到紧接的清洗装置上。