发明授权
- 专利标题: 复合式气体流量测量方法及其装置
- 专利标题(英): Method and device for measuring compound type gas flow
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申请号: CN200810120056.5申请日: 2008-07-17
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公开(公告)号: CN101354273B公开(公告)日: 2010-07-07
- 发明人: 韩怀成 , 毛巨林
- 申请人: 美新半导体(无锡)有限公司
- 申请人地址: 江苏省无锡市高新技术产业开发区新辉环路2号
- 专利权人: 美新半导体(无锡)有限公司
- 当前专利权人: 新纳传感系统有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省无锡市高新技术产业开发区新辉环路2号
- 代理机构: 杭州杭诚专利事务所有限公司
- 代理商 尉伟敏
- 主分类号: G01F7/00
- IPC分类号: G01F7/00
摘要:
本发明公开了一种复合式气体流量测量方法及其装置,在带温度传感器与压力传感器的机械式气体流量测量装置上并接旁路管,旁路管上设有MEMS流量传感器,温度传感器、压力传感器、机械式气体流量测量装置及MEMS流量传感器均连接数据处理系统,数据处理系统连接数据显示系统,温度传感器、压力传感器、机械式气体流量测量装置及MEMS流量传感器的所测数据经过数据处理系统处理后通过数据显示系统显示出气体流量数据。它有效地解决目前气体流量测量装置存在的量程比窄,适用范围小以及测量精度低、可靠性差的问题,本发明结构简单、成本低,值得相关行业推广使用。
公开/授权文献
- CN101354273A 复合式气体流量测量方法及其装置 公开/授权日:2009-01-28