微流喷头及延长其热喷射致动器使用寿命的方法
摘要:
微流喷头和延长微流喷头使用寿命的方法。一个这种的微流喷头包括具有多个热喷射致动器的基底。每个热喷射致动器具有电阻层和其上的保护层。流动特征元件邻近该基底并且限定流体流入通道、与该至少一个致动器结合并且与该流体流入通道流动连通的流体腔以及喷嘴。将该喷嘴偏置到该腔的与该流体通道相反的一侧。具有小于约400℃降解温度的聚合层与结合该流体腔的该至少一个致动器的一部分重叠,并且距离该至少一个致动器的与该流体流入通道相反的至少一边缘小于约5微米安置。
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