倍半硅氧烷-二氧化钛杂化聚合物
摘要:
本发明涉及倍半硅氧烷-二氧化钛杂化聚合物,其中,二氧化钛相区尺寸小于大约5纳米。该聚合物用于,例如,在微电子器件加工中形成减反射膜。
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