发明授权
CN101300289B 倍半硅氧烷-二氧化钛杂化聚合物
失效 - 权利终止
- 专利标题: 倍半硅氧烷-二氧化钛杂化聚合物
- 专利标题(英): Silsesquioxane-titania hybrid polymers
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申请号: CN200680040434.8申请日: 2006-10-25
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公开(公告)号: CN101300289B公开(公告)日: 2012-07-25
- 发明人: P·J·波帕 , L·K·米尔斯 , K·E·霍华德
- 申请人: 陶氏环球技术有限责任公司
- 申请人地址: 美国密歇根州米德兰陶氏中心2040号
- 专利权人: 陶氏环球技术有限责任公司
- 当前专利权人: 陶氏环球技术有限责任公司
- 当前专利权人地址: 美国密歇根州米德兰陶氏中心2040号
- 代理机构: 北京戈程知识产权代理有限公司
- 代理商 程伟
- 优先权: 60/731,536 2005.10.28 US
- 国际申请: PCT/US2006/041662 2006.10.25
- 国际公布: WO2007/053396 EN 2007.05.10
- 进入国家日期: 2008-04-28
- 主分类号: C08G77/48
- IPC分类号: C08G77/48 ; C08G77/58 ; G03F7/09
摘要:
本发明涉及倍半硅氧烷-二氧化钛杂化聚合物,其中,二氧化钛相区尺寸小于大约5纳米。该聚合物用于,例如,在微电子器件加工中形成减反射膜。
公开/授权文献
- CN101300289A 倍半硅氧烷-二氧化钛杂化聚合物 公开/授权日:2008-11-05