离子束抛光工艺中坐标映射误差的修正方法
摘要:
本发明公开了一种离子束抛光工艺中坐标映射误差的修正方法,该工艺巧妙地利用离子束抛光工艺中去除函数试验过程,在该过程中同时在光学镜面上不同的位置进行多个去除函数试验,之后找出这些去除函数中心在光学镜面上的精确位置,利用这些位置信息和试验中施加的控制位置信息,间接地确定光学镜面坐标系和机床坐标系之间的准确的坐标映射关系,从而消除传统对刀工艺中坐标映射误差对加工的影响。本发明以比较简单、可行的方法克服了现有技术中的坐标映射关系存在的误差,提高了离子束抛光工艺中加工的精度,为实现高精度的光学加工提供了重要的技术保障。
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