发明授权
CN101284713B 离子束抛光工艺中坐标映射误差的修正方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 离子束抛光工艺中坐标映射误差的修正方法
- 专利标题(英): Correction method for coordinate mapping error in ion beam polishing process
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申请号: CN200810030959.4申请日: 2008-03-31
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公开(公告)号: CN101284713B公开(公告)日: 2010-08-11
- 发明人: 李圣怡 , 戴一帆 , 周林 , 解旭辉 , 焦长君 , 尹自强 , 刘晓东
- 申请人: 中国人民解放军国防科学技术大学
- 申请人地址: 湖南省长沙市砚瓦池正街47号中国人民解放军国防科学技术大学机电工程与自动化学院机电工程系
- 专利权人: 中国人民解放军国防科学技术大学
- 当前专利权人: 中国人民解放军国防科学技术大学
- 当前专利权人地址: 湖南省长沙市砚瓦池正街47号中国人民解放军国防科学技术大学机电工程与自动化学院机电工程系
- 代理机构: 湖南兆弘专利事务所
- 代理商 赵洪
- 主分类号: C03C23/00
- IPC分类号: C03C23/00 ; G05B19/18
摘要:
本发明公开了一种离子束抛光工艺中坐标映射误差的修正方法,该工艺巧妙地利用离子束抛光工艺中去除函数试验过程,在该过程中同时在光学镜面上不同的位置进行多个去除函数试验,之后找出这些去除函数中心在光学镜面上的精确位置,利用这些位置信息和试验中施加的控制位置信息,间接地确定光学镜面坐标系和机床坐标系之间的准确的坐标映射关系,从而消除传统对刀工艺中坐标映射误差对加工的影响。本发明以比较简单、可行的方法克服了现有技术中的坐标映射关系存在的误差,提高了离子束抛光工艺中加工的精度,为实现高精度的光学加工提供了重要的技术保障。
公开/授权文献
- CN101284713A 离子束抛光工艺中坐标映射误差的修正方法 公开/授权日:2008-10-15