• 专利标题: 一种硅片研磨载体的制作方法
  • 专利标题(英): Method for producing silicon chip grinding carrier
  • 申请号: CN200810061005.X
    申请日: 2008-04-23
  • 公开(公告)号: CN101274424B
    公开(公告)日: 2011-07-13
  • 发明人: 胡林宝
  • 申请人: 胡林宝
  • 申请人地址: 浙江省开化县华埠镇双桥路38号开化县模具厂
  • 专利权人: 胡林宝
  • 当前专利权人: 浙江游星电子科技有限公司
  • 当前专利权人地址: 浙江省开化县华埠镇双桥路38号开化县模具厂
  • 代理机构: 杭州裕阳专利事务所
  • 代理商 应圣义
  • 主分类号: B24D18/00
  • IPC分类号: B24D18/00 B24B37/04 H01L21/304
一种硅片研磨载体的制作方法
摘要:
一种硅片研磨载体的制作方法,通过剪板、调平、冲剪、热处理、保温冷却后检验入库完成整个制作过程。其关键之处是所述调平采用反向滚压法;冲剪齿件中,采用单片、旋转定位、分段冲剪法冲剪齿件;对坯料进行热处理时,先将多片坯料形成整体组件,再进行热处理。与现有技术相比,该发明实现了用材国产化、生产标准化、操作简单化的一整套载体制作方法,大幅度降低了生产成本,解决了国内外同行制作载体长期以来一直没有解决的技术问题。利用该方法制作载体不但材料可选用国产的轧硬带钢,而不需要依赖进口,而且具有累积误差小,平行度、翅曲度和公差稳定性好,操作技术要求低,载体加工不受直径限制,有利于国产化、标准化生产的优点。
公开/授权文献
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