发明授权
- 专利标题: 制造具有不同阻挡特性的栅极电介质的半导体器件的方法
- 专利标题(英): Method for manufacturing semiconductor device having a gate dielectric of different blocking characteristics
-
申请号: CN200680014504.2申请日: 2006-04-19
-
公开(公告)号: CN101167178B公开(公告)日: 2010-07-07
- 发明人: K·维克措雷克 , M·拉布 , K·罗梅罗
- 申请人: 先进微装置公司
- 申请人地址: 美国加利福尼亚州
- 专利权人: 先进微装置公司
- 当前专利权人: 格罗方德半导体公司
- 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚州
- 代理机构: 北京戈程知识产权代理有限公司
- 代理商 程伟
- 优先权: 102005020058.3 2005.04.29 DE; 11/284,270 2005.11.21 US
- 国际申请: PCT/US2006/014628 2006.04.19
- 国际公布: WO2006/118787 EN 2006.11.09
- 进入国家日期: 2007-10-29
- 主分类号: H01L21/8234
- IPC分类号: H01L21/8234
摘要:
通过局部地调整N沟道晶体管及P沟道晶体管的栅极绝缘层205A,205B的阻挡能力,可增强P沟道晶体管的可靠性及阈稳定性(threshold stability),而仍然可将N沟道晶体管的电子移动性(electron mobility)保持在高程度。可通过将不同量的介电掺杂剂加入至各别的栅极绝缘层部分205A,205B,而达到该目的。
公开/授权文献
- CN101167178A 具有不同阻挡特性的栅极电介质的半导体器件 公开/授权日:2008-04-23
IPC分类: