发明授权
CN101140889B 自动焊球封装植球方法与装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 自动焊球封装植球方法与装置
- 专利标题(英): Automatic welding ball packaging metal ball embedding method and apparatus
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申请号: CN200710059895.6申请日: 2007-10-16
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公开(公告)号: CN101140889B公开(公告)日: 2010-05-12
- 发明人: 吴萍 , 周伟 , 刘立娟 , 李宝凌 , 王艺
- 申请人: 天津大学
- 申请人地址: 天津市南开区卫津路92号天津大学
- 专利权人: 天津大学
- 当前专利权人: 天津大学
- 当前专利权人地址: 天津市南开区卫津路92号天津大学
- 代理机构: 天津市北洋有限责任专利代理事务所
- 代理商 江镇华
- 主分类号: H01L21/60
- IPC分类号: H01L21/60
摘要:
本发明属于电子封装技术领域,具体涉及一种球栅阵列封装(Ball Grid Array,BGA)技术中的自动焊球封装植球方法和装置。本发明使用惰性气体注入坩锅与真空密闭腔室中,利用压力控制系统使坩锅与真空密闭腔室达到稳定压差,使金属熔体从坩锅底部微型喷嘴中以层流射流的形式喷出,利用压电振荡器产生的振动扰动金属射流,使金属射流断裂为均匀的液滴,并通过监视系统结合计算机分析系统获得产生液滴的实时尺寸参数,进而针对最佳化的参数,反馈控制振荡器的频率,减小产生的金属液滴与设定液滴尺寸的误差。本发明可直接将处于合适热力学状态的均匀焊球准确的放置于事先配置好焊球位置的基板上,工艺流程短,产品质量好,大大降低了设备投资。
公开/授权文献
- CN101140889A 自动焊球封装植球方法与装置 公开/授权日:2008-03-12
IPC分类: