导电元件供给设备与导电元件供给方法
Abstract:
导电元件供给设备包含:贮藏器部分,其包含内部空间和第一通气开口,其中,导电元件被贮藏在内部空间中,第一通气开口与内部空间连通;排列部分,其包含排列通道和第二通气开口,其中,导电元件在排列通道中被排列为一行,排列通道与内部空间连通,第二通气开口与排列通道连通;阻塞器,其用于关闭/打开排列通道;第一气体供给单元,其从第一通气开口并通过内部空间向排列通道供给气体;第二气体供给单元,其从第二通气开口向导电元件的排列方向供给气体;控制单元,其在阻塞器被关闭的状态下致动第一气体供给单元以供给气体,其中,第二通气开口与阻塞器之间沿排列方向的距离基本属于从一个导电元件的尺寸到一个半导电元件的尺寸的范围内。
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