金属-绝缘物-金属的变压器及其制造方法
摘要:
一种金属-绝缘物-金属的变压器的制造方法,其适用于同时形成一金属-绝缘物-金属电容器与变压器。此制造方法为,先提供已形成有至少一介电层的一基板。然后,于基板上形成图案化的金属-绝缘物-金属电容器的第一金属层,且同时形成变压器的第一金属线圈。接着,形成一绝缘层,以覆盖基板、第一金属层与第一金属线圈。之后,于绝缘层上形成图案化的金属-绝缘物-金属电容器的第二金属层,且同时形成变压器的第二金属线圈。
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