发明授权
- 专利标题: 金属-绝缘物-金属的变压器及其制造方法
- 专利标题(英): Metal-isolator-metal transformer and its manufacturing method
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申请号: CN200610071441.6申请日: 2006-03-28
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公开(公告)号: CN101047059B公开(公告)日: 2011-05-18
- 发明人: 严国辉 , 吴昌庆 , 黄志扬
- 申请人: 联华电子股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾新竹科学工业园区
- 专利权人: 联华电子股份有限公司
- 当前专利权人: 联华电子股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾新竹科学工业园区
- 代理机构: 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 陶凤波; 侯宇
- 主分类号: H01F41/00
- IPC分类号: H01F41/00 ; H01F27/28 ; H01F27/32 ; H01F17/00 ; H01F19/00
摘要:
一种金属-绝缘物-金属的变压器的制造方法,其适用于同时形成一金属-绝缘物-金属电容器与变压器。此制造方法为,先提供已形成有至少一介电层的一基板。然后,于基板上形成图案化的金属-绝缘物-金属电容器的第一金属层,且同时形成变压器的第一金属线圈。接着,形成一绝缘层,以覆盖基板、第一金属层与第一金属线圈。之后,于绝缘层上形成图案化的金属-绝缘物-金属电容器的第二金属层,且同时形成变压器的第二金属线圈。
公开/授权文献
- CN101047059A 金属-绝缘物-金属的变压器及其制造方法 公开/授权日:2007-10-03