薄膜加热器和分析用具
摘要:
本发明涉及薄膜加热器(2),其具备:薄膜发热电阻体;和用于向薄膜发热电阻体施加电压,并与薄膜发热电阻体导通连接的第一和第二薄膜电极(22、24)。在该薄膜加热器(2)上,薄膜发热电阻体的至少一部分具有透光性。优选将第一薄膜电极(22)、薄膜发热电阻体和第二薄膜电极(24)按照该顺序在膜厚方向上叠层。本发明还提供具备薄膜加热器(2)的分析用具(X)。
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