Invention Grant
CN101028918B 氟酸的回收方法
失效 - 权利终止
- Patent Title: 氟酸的回收方法
- Patent Title (English): Recovery of hydrofluoric acid
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Application No.: CN200610057775.8Application Date: 2006-02-27
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Publication No.: CN101028918BPublication Date: 2012-03-28
- Inventor: 宫田坚洋 , 亀山薰 , 川瀬泰人
- Applicant: 三菱化学工程株式会社 , 日本瑞环株式会社
- Applicant Address: 日本东京
- Assignee: 三菱化学工程株式会社,日本瑞环株式会社
- Current Assignee: 三菱化学工程株式会社,日本瑞环株式会社
- Current Assignee Address: 日本东京
- Agency: 北京尚诚知识产权代理有限公司
- Agent 邸万杰
- Main IPC: C01B7/19
- IPC: C01B7/19 ; C02F1/04
Abstract:
本发明提供从玻璃基板的蚀刻工序等排出的氟酸废液中回收氟酸的方法，是不产生水垢、可以以高收率回收杂质更少的精制氟酸的氟酸的回收方法。氟酸的回收方法通过蒸馏法从含有金属成分的氟酸废液中回收氟酸，具备：将氟酸废液供给到蒸发釜(1)、加热，将粗氟酸作为蒸气回收，同时分离浓缩废液的粗氟酸蒸发工序；利用第一蒸馏塔(21)蒸馏粗氟酸，分离为浓缩氟酸和回收水的第一蒸馏工序；和利用第二蒸馏塔(22)进一步蒸馏浓缩氟酸，分离为被精制的精制氟酸和废液的第二蒸馏工序。其中，在粗氟酸蒸发工序的氟酸废液中添加抑制金属成分析出的足量的硫酸。
Public/Granted literature
- CN101028918A 氟酸的回收方法 Public/Granted day:2007-09-05
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