介质阻挡放电灯照明装置及紫外线照射装置
摘要:
一种介质阻挡放电灯照明装置,在需照射紫外线的工件相对管轴作了直角方向移动时,对工件的紫外线照射量则沿管轴方向得以均衡。介质阻挡放电灯照明装置(EXF)包括:多个介质阻挡放电灯(EXL);该介质阻挡放电灯(EXL)具有:由紫外线穿透性材料构成的细长管状气密容器(1);在气密容器(1)内沿其轴方向设置并通过供电端供电的内部电极(2);封入气密容器(1)内的准分子生成气体;设在气密容器(1)外面,与内部电极(2)协同动作而在气密容器内产生介质阻挡放电的外部电极(OE);其中,多个介质阻挡放电灯(EXL)并列配置,对应其内部电极(2)的供电端互相相反地邻接。
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