发明授权
CN100492687C 氮化物半导体衬底及器件
失效 - 权利终止
- 专利标题： 氮化物半导体衬底及器件
- 专利标题（英）： Nitride semiconductor substrate and nitride semiconductor device
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申请号： CN200610099937.4申请日： 1998-04-09
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公开(公告)号： CN100492687C公开(公告)日： 2009-05-27
- 发明人: 清久裕之 , 中村修二 , 小崎德也 , 岩佐成人 , 蝶蝶一幸
- 申请人： 日亚化学工业株式会社
- 申请人地址： 日本德岛县阿南市
- 专利权人： 日亚化学工业株式会社
- 当前专利权人： 日亚化学工业株式会社
- 当前专利权人地址： 日本德岛县阿南市
- 代理机构： 中原信达知识产权代理有限责任公司
- 代理商 谷惠敏; 钟强
- 优先权： 93315/97 1997.04.11 JP; 174494/97 1997.06.30 JP; 181071/97 1997.07.07 JP; 201477/97 1997.07.28 JP; 277448/97 1997.10.09 JP; 290098/97 1997.10.22 JP; 324997/97 1997.11.26 JP
- 分案原申请号： 2003101182865
- 主分类号： H01L33/00
- IPC分类号： H01L33/00 ; H01S5/00 ; C30B29/40
摘要：
公开了一种晶体缺陷非常之少，可以作为衬底使用的氮化物半导体晶体的生长方法。本方法包括下述工程：在由具有主面、且含有由与氮化物半导体不同的材料形成的异种衬底的支持体之上，形成具备使该支持体的表面选择性地露出来的多个第1窗口的第一选择生长掩模的工序，和用气态3族元素源及气态氮元素源，从窗口露了出来的支持体的表面开始生长氯化物半导体直到相邻的窗口生成的氯化物半导体晶体在选择生长掩模的上表面合为一体为止的工序。
公开/授权文献
- CN1933195A 氮化物半导体衬底及器件 公开/授权日：2007-03-21
IPC分类:
