本发明公开了一种高密度等离子体增强化学气相淀积与刻蚀设备。它包括真空室(8)和其内置有的电极，以及与真空室(8)相连通的进、出气口(9，4)，特别是真空室(8)和其内置有的电极均水平设置，电极为射频电极(2)和接地电极(5)，其均为平板状且相互平行设置，射频电极(2)和接地电极(5)外套装有与其平行设置的线圈(1)，进、出气口(9，4)分置于真空室(8)的两端；所述的射频电极(2)位于接地电极(5)的上方，且其面积与接地电极(5)面积相等，所述的接地电极(5)位于射频电极(2)的上方，且其面积为射频电极(2)面积的一半。它能在真空室内的气压小于1毫乇时，仍能被正常地启辉并产生稳定的辉光放电。