一种氮化镓系III-V族化合物半导体器件，包括：具有第一和第二主表面的衬底；和形成在所述衬底的第一主表面之上、含有n型氮化镓系III-V族化合物半导体层和p型氮化镓系III-V族化合物半导体层的半导体叠层结构；其中，所述p型半导体层设置在所述n型半导体层上，且平面为矩形形状；所述p型半导体层的平面矩形的对角线上的角部、存在露出所述n型半导体层的n型半导体的露出部分；在所述n型半导体层的露出部分中设置有第一电极，以及在所述p型半导体层中设置有透光性的第二电极。